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| 輸入電壓 | 24伏交流電,50/60赫茲,1瓦(典型) |
|---|---|
| 離子發(fā)射 | 脈沖直流、穩(wěn)態(tài)直流或備用 |
| 發(fā)射器 | 單晶硅或機加工鈦;可更換 |
| 潔凈室等級 | 單晶硅,ISO 14644-1 1級 鈦,ISO 14644-1 3級 |
| 發(fā)射棒 | 2.5, 5, 10, 15, 24, 36, 60 英寸 (6.4, 12.7, 253.4, 38.1, 61.0, 91.4, 152.4 厘米) |
| 維度 | 1.2英寸高 x 1.4英寸寬 x 17.5英寸長 (3.1 x 3.6 x 44.5 厘米) |
| 重量 | 1.03 磅(0.465 千克) |
全數(shù)字技術(shù)
雙向紅外遙控器,帶數(shù)字液晶顯示屏,用于發(fā)射器調(diào)整
提供單晶硅發(fā)射點
脈沖關(guān)閉時間將正離子云和負離子云分開
與5585 AeroBars集成在一個控制器上
可尋址發(fā)射器
脈沖極性同步
控制器型號 5520/5580
Simco-Ion, Technology Group's 數(shù)字控制器型號5520和5580控制和監(jiān)控參數(shù)以及離子發(fā)生器的性能。較小的型號5520可容納多達20個發(fā)射器,使得在處理工具或小型房間配置內(nèi)部集成變得簡單方便。較大的型號5580處理大容量系統(tǒng),支持多達80個離子發(fā)生器,以實現(xiàn)整個房間和工具的離子化覆蓋。
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