1. 設(shè)備概述
UIH-1C 型超高亮度照明裝置(UIH Series)是由株式會(huì)社 INTECS 開發(fā)的專業(yè)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。該裝置主要利用丁達(dá)爾現(xiàn)象(Tyndall Phenomenon),通過投射高亮度光線,輔助用戶對(duì)半導(dǎo)體晶圓(Wafer)及光掩模玻璃(Mask Glass)等精密光學(xué)材料進(jìn)行表面與內(nèi)部缺陷的目視檢查。
2. 工作原理與應(yīng)用對(duì)象
3. UIH-1C 型號(hào)技術(shù)規(guī)格
根據(jù)公開的技術(shù)資料,UIH-1C 型號(hào)的具體參數(shù)如下:
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|
| 光源規(guī)格 | 15V 150W |
| 設(shè)計(jì)照射范圍 | 鏡筒前端 180mm 處,直徑 φ40mm |
| 最的高照度 | 照射范圍中心約 600,000 勒克斯 (Lux) |
| 500,000 勒克斯時(shí)的照射范圍 | 約 φ45mm |
| 倍徑距離與照度 | 360mm 距離下,照度約 150,000 勒克斯 |
| 調(diào)光方式 | SCR 相位控制 (SCR Phase Control) |
| 冷卻方式 | 風(fēng)扇強(qiáng)制空冷 (Fan Forced Air Cooling) |
| 電源要求 | AC100V 變壓器式 (Transformer type) |
| 外形尺寸/重量 | 約 7kg |
4. 運(yùn)行特性與維護(hù)
5. 總結(jié)
UIH-1C 作為 UIH 系列的基礎(chǔ)型號(hào),通過 150W 高亮度光源和精確的光學(xué)設(shè)計(jì),能夠滿足半導(dǎo)體 Wafer 及 Mask Glass 在生產(chǎn)過程中的表面?zhèn)?、異物及?nèi)部氣泡的目視檢測(cè)需求。其結(jié)構(gòu)緊湊(約 7kg)且采用標(biāo)準(zhǔn)的變壓器式電源,適合對(duì)特定尺寸工件(如設(shè)計(jì)照射徑 φ40mm 的對(duì)象)進(jìn)行高精度的光學(xué)檢查。
