隨著微納技術(shù)在光子集成、生物醫(yī)療、MEMS 制造等領(lǐng)域的深度滲透,不同行業(yè)對(duì)三維微納結(jié)構(gòu)的精度、材料兼容性及加工效率提出差異化需求。納糯三維Nanoscribe 依托專(zhuān)_利 2GL® 雙光子灰度光刻技術(shù),打造覆蓋 “科研創(chuàng)新 - 工業(yè)量產(chǎn)” 全鏈路的三維微納加工解決方案,以 “高精度 + 高靈活 + 多場(chǎng)景適配” 的核心優(yōu)勢(shì),成為各行業(yè)突破微納加工瓶頸的關(guān)鍵選擇。

在光子封裝領(lǐng)域,微納3D打印技術(shù),特別是雙光子聚合(2PP)技術(shù),以其高精度、真正的三維加工能力和無(wú)需掩模的優(yōu)勢(shì),為光纖與芯片間高效、低損耗的光耦合提供了變革性的解決方案。

綜合來(lái)看,納糯三維Nanoscribe是該領(lǐng)域公_認(rèn)的行業(yè)標(biāo)_桿。其核心技術(shù)雙光子灰度光刻(2GL®),將雙光子聚合的精度與灰度光刻的效率相結(jié)合,非常適合光子封裝中復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)的制造。
一、技術(shù)路線(xiàn)選型??
??1、雙光子聚合2PP(飛秒激光直寫(xiě))??:面向??亞微米—微米級(jí)??自由形狀三維結(jié)構(gòu),具備極_高的設(shè)計(jì)自由度,適合復(fù)雜微光學(xué)、微機(jī)械、微流控與生物支架等;可在復(fù)雜基底上直接成型,支持多材料與復(fù)合工藝。
??2、雙光子灰度光刻2GL??:在同一工作流程中兼顧??2.5D/3D??,通過(guò)對(duì)“體素”強(qiáng)度的精細(xì)調(diào)制獲得表面??超光滑??與折射率/形貌一體化控制,適合高數(shù)值孔徑微光學(xué)、梯度折射率器件與高精度模具母版。
??3、飛秒激光“二合一”復(fù)合策略??:在同一平臺(tái)將??不對(duì)稱(chēng)雙光子聚合??(構(gòu)建各向異性水凝膠關(guān)節(jié))與??原位激光還原沉積銀納米顆粒??(賦予光熱驅(qū)動(dòng)與傳感功能)結(jié)合,用于??多關(guān)節(jié)微機(jī)器人、可重構(gòu)變形器件??等活性微系統(tǒng)。
4、??在光纖/芯片上直接打印??:提供??傾斜校正??與多自由度對(duì)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)??光纖端面SERS探針??、波導(dǎo)-微光學(xué)混合集成、以及??芯片內(nèi)3D微結(jié)構(gòu)??的增材制造,顯著降低封裝與對(duì)準(zhǔn)成本。
??5、晶圓級(jí)批量與自動(dòng)化??:面向??6英寸晶圓??的批量加工,支持??自動(dòng)樹(shù)脂分配??、多用戶(hù)流程與遠(yuǎn)程監(jiān)控,兼顧??快速原型??與??小批量生產(chǎn)??需求。
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