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可視觀察的同步測(cè)定 －多層薄膜的透射測(cè)定
閱讀：70 發(fā)布時(shí)間：2025-12-19使用紅外顯微鏡AIM-9000 及AIMsolution 分析軟件，可以在對(duì)掃描點(diǎn)進(jìn)行可視觀察的同時(shí)，測(cè)定該掃描點(diǎn)的光譜。 本文向您介紹通過可視觀察的同步測(cè)定對(duì)多層薄膜進(jìn)行分析的示例
多層薄膜的測(cè)定
圖1 為用切片機(jī)切成厚度為20 μm 的多層薄膜截面顯微鏡圖像。由圖可知，該薄膜至少由4 層構(gòu)成。 水平放置多層薄膜樣品，利用透射法進(jìn)行光譜測(cè)定。如圖2所示，首先指定樣品和背景（BKG）的掃描點(diǎn)。本次分析的背景位置為沒有薄膜的地方（空氣），將掃描點(diǎn)1 和4 的光闌設(shè)為 50 × 50 μm，掃描點(diǎn)2 和3 的光闌設(shè)為20 × 50 μm。 背景掃描需要將光闌尺寸與掃描點(diǎn)設(shè)為相同的數(shù)值。如果在不同尺寸下選擇了多個(gè)掃描點(diǎn)，將自動(dòng)掃描各光闌尺寸下的背景。表1 為測(cè)定條件
分析結(jié)果：
圖3 為測(cè)定得到的顯微區(qū)域圖像及各掃描點(diǎn)的光譜。 分析結(jié)束后，AIMsolution 分析軟件會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)，可以輕松進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和光譜檢索。圖4 為AIMsolution Analysis 軟件窗口。因?yàn)楦鲯呙椟c(diǎn)的顏色與各光譜的顏色對(duì)應(yīng)，所以易于進(jìn)行比較。圖5 為檢索結(jié)果。上圖為得到的光譜；中圖為命中的光譜；下圖命中列表。 使用該軟件可順利完成從掃描位置的確認(rèn)到掃描、分析等一系列操作，為操作人員提供了有力的支持
總結(jié) ：
通過可視觀察的同步測(cè)定可以實(shí)時(shí)確認(rèn)各掃描點(diǎn)的圖像和光譜。 另外，因?yàn)锳IMsolution 分析軟件以相同顏色顯示各掃描點(diǎn)及其光譜，所以不僅可視覺確認(rèn)掃描信息，還可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行大氣校正等數(shù)據(jù)處理和檢索操作。 綜上所述，使用AIM-9000、AIMsolution Measurement 軟件和AIMsolutin 分析軟件，在每一個(gè)操作步驟都可以瞬間獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)了輕松分析
